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净化车间洁净度级别如何确定及计算分析

华锐净化 / 2020-07-27 06:53:15 / 阅读
净化车间洁净度级别如何确定及计算分析 - 四川华锐净化工程

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净化车间洁净度级别如何确定及计算分析


一、净化工程装配车间的技术参数

净化车间的规格一般适用于美国联邦规格No.209B。这个规格对净化间的环境要素即空气洁净度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。但是,伴随着洁净化程度的不断提高,美国联邦规格进行了改版,其内容主要是以洁净度进行分类。最新版已成为No209E,名称也进行了变更。No.209E的级别表示是把0.5um以上的颗粒数为10x个/m3,把X表示成级别,同时加上米制M的意思,表示成M3.5等等。在表7里表示的是美国联邦规格No.209B,表8表示的是美国联邦规格No.209E。在日本,相应的规格是JIS B9920。JIS9920的级别表示是把0.1um以上的颗粒数规定为10的x立方个,用Y表示级别。表9、图2表示了JIS B 9920的级别的主要内容。

净化车间洁净度

表7  美国联邦规格No.209B

清洁间类别 再生颗粒 办公室压为Pa mmH2O 湿度 湿球温度 热空气 通气频率 采光系数
粒度分布 um 显示器a粒子数 使用范围 (℃) 推建值(℃) 差 (℃) 高 (%) 最低值 % 测量误差 %
100


1000


10000


100000

≥0.5  


≥0.5

≥5

≥0.5

≥5

≥0.5

≥5

100


1000 10 10000 65 100000 700
+13 (+1.3) 及以上 19.4— 25 22.2



±2.8 特别时为±1.4
45 30



±10 相当时为±5


层流行为 0.45m/s ±0.1m/s 非层流具体方法

≥20次/h


1080--1620



表8  美国联邦规格No.209E的洁净度级别分类

层次上标准值是各层次名。上标准值用特定粒度分布左右的密度(厂家积聚离子数)表述。*
类别称呼** 级別上卫生防护距离
比表面积 0.1um 颗粒直径 0.2um 粒级 0.3um 粒度分布  0.5um 粒级 5um
SI*** English Unit (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3)
MI M1.5    M2 M2.5 M3 M3.5 M4 M4.5 M5 M5.5 M6 M6.5 M7


1


10


100


1000


10000


100000
350 1240 3500 12000  35000   -- -- -- -- -- -- -- -- 9.91 35.0 99.1   350 991 -- -- -- -- -- -- -- -- 75.7 265 757 2650 7570 26500   75700 -- -- -- -- -- -- 2.14 7.50 21.4 75.0 214 750    2140 -- -- -- -- -- -- 30.9 106 309 1060 3090 10600   30900 -- -- -- -- -- -- 0.875 3.00    8.75 30.0 87.5 300 875 -- -- -- -- -- -- 10.0 35.3 100 353 1000 3530 10000  35300  100000 353000 1000000 3530000 10000000 0.283 1.00 2.83 10.0 28.3 100 283 1000 2380 10000 28300 100000   283000 -- -- -- -- -- -- -- 247 618 2470 6180 24700   61800 -- -- -- -- -- -- -- 7.00 17.5 70.0 175 700 1750  
 *上表中写出的级別上卫生防护距离只有是为了能级別的分类而定意的,并不写出现实情况的粒度占比值。 **对於中部級別的酸度上最大限度,用以下的测算方式去测算。   激光束直径怎么算/m3=10M(0.5/d)2.2,在这当中,M : SI工作单位里的最高级别品牌,D :孔径(um) ***國际标准(Systeme International d’Unites的缩写字母)


图1,209E的洁净度级别(图略)图中的●标记表示评价洁净度级别用的对象粒子。

()内数值是用English unit表示级别。

图2,JIS B 9920的洁净度级别的上限浓度


表9,JIS B 9920主要内容         

净化间级别表


表10,美国航空宇宙局规格主要内容

动物静化间职位 塑料颗粒 微生物粒子束 地下室 各种压力 Pa mmH2O


温度℃ 

温度 % 环流 排风数次


光照度 Lx
颗粒直径 um 连续 水粒子数 个/ft (个/l) 浮游量 个/ft (个/l) 沉降量


100


10000




100000
≥0.5



≥0.5


≥5


≥0.5    


≥5
100 (3.5)


10000 (350) 65(2.3)


100000 (3500) 700(25)
0.1 (0.0035)


0.5 (0.0176)



2.5 (0.0884)
1200 (12900)


6000 (64000)



30000 (323000)



+13 (+1.3) 以上内容



推 荐 值



40 —    50



层流措施 0.45m/s ±0.1m/s 非层流式 ≥20次/h
1080— 1620


二、不一应用领域所符合要求的清洁度

如前所述,净化车间的级别一般分成M3.5(100)、M4.5(1000)、M5.5(10000)、M6.5(100000)4个级别。但根据各产业领域的作业工序不同,形成必要的级别是不一样的。例如,在半导体制造工厂等里边,根据作业内容,要求有M1(10)—M5.5(1000)的净化间。而且,在制药工厂里,根据产品的纯度、作业工序,需有从M3.5到M6.5(100,000)范围广泛的级别不等净化间。因此说,各种产业所需要的净化间,其要求的洁净度是不同的。

就一般级别而言,表11可以作为参考。

表11,各产业所要求的净化车间级别一览

各个领域和房产 干净干燥度规则(职别) 玩法
SI English unit
半导体器件化工 (IC、LSI等) 掩建筑模板对着制作工艺 M3.5 100


刻蚀艺 M3.5 100 浸蚀加工生产
发展工艺设备 M3.5 100 高色度发展
蒸着新工艺 M3.5 100 高纯净度真空镀膜
涂覆方法 M3.5 100 光线传感器剂刷抹
智能仪器 折算器造成 M5.5 10,000 磁头
金属电极X射线管 M5.5 10,000, 遮屏
磁带 M5.5 10,000 以防吱吱声
高精密检测设备 悠悠球、超小型的轴承 M5.5 10,000 挺高高精度
防空导弹部分、继电热器 M5.5 10,000 避免 误的动作
手表、中型剂量测量仪器 M5.5 10,000 组立、封装类型、清洗
光学玻璃、油墨印刷 照象机、油墨印刷三极管板 M5.5 10,000 加工制作
广角镜头、医用胶片 M4.5 1,000 对接
光学制版工艺 M5.5 10,000 建设、查
化学工业产品 针剂液充填 M3.5 100 调配、充填
无菌室宠物养育 M3.5 100 SPF
有机化学医疗耗材 抗生态学 M5.5 10,000 充填、常规检查
通常情况医药品 M6.5 100,000 创造
面制品 酿酒、发效

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