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净化车间的规格一般适用于美国联邦规格No.209B。这个规格对净化间的环境要素即空气洁净度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。但是,伴随着洁净化程度的不断提高,美国联邦规格进行了改版,其内容主要是以洁净度进行分类。最新版已成为No209E,名称也进行了变更。No.209E的级别表示是把0.5um以上的颗粒数为10x个/m3,把X表示成级别,同时加上米制M的意思,表示成M3.5等等。在表7里表示的是美国联邦规格No.209B,表8表示的是美国联邦规格No.209E。在日本,相应的规格是JIS B9920。JIS9920的级别表示是把0.1um以上的颗粒数规定为10的x立方个,用Y表示级别。表9、图2表示了JIS B 9920的级别的主要内容。
表7 美国联邦规格No.209B
| 清洁间类别 | 再生颗粒 | 办公室压为Pa mmH2O | 湿度 | 湿球温度 | 热空气 通气频率 | 采光系数 | |||||
| 粒度分布 um | 显示器a粒子数 | 使用范围 (℃) | 推建值(℃) | 差 (℃) | 高 (%) | 最低值 % | 测量误差 % | ||||
|
100
|
≥0.5
≥0.5 ≥5 ≥0.5 ≥5 ≥0.5 ≥5 |
100
|
+13 (+1.3) 及以上 | 19.4— 25 | 22.2 |
|
45 | 30 |
|
≥20次/h |
|
表8 美国联邦规格No.209E的洁净度级别分类
层次上标准值是各层次名。上标准值用特定粒度分布左右的密度(厂家积聚离子数)表述。*| 类别称呼** | 级別上卫生防护距离 | ||||||||||
| 比表面积 0.1um | 颗粒直径 0.2um | 粒级 0.3um | 粒度分布 0.5um | 粒级 5um | |||||||
| SI*** | English Unit | (m3) | (ft3) | (m3) | (ft3) | (m3) | (ft3) | (m3) | (ft3) | (m3) | (ft3) |
| MI M1.5 M2 M2.5 M3 M3.5 M4 M4.5 M5 M5.5 M6 M6.5 M7 |
|
350 1240 3500 12000 35000 -- -- -- -- -- -- -- -- | 9.91 35.0 99.1 350 991 -- -- -- -- -- -- -- -- | 75.7 265 757 2650 7570 26500 75700 -- -- -- -- -- -- | 2.14 7.50 21.4 75.0 214 750 2140 -- -- -- -- -- -- | 30.9 106 309 1060 3090 10600 30900 -- -- -- -- -- -- | 0.875 3.00 8.75 30.0 87.5 300 875 -- -- -- -- -- -- | 10.0 35.3 100 353 1000 3530 10000 35300 100000 353000 1000000 3530000 10000000 | 0.283 1.00 2.83 10.0 28.3 100 283 1000 2380 10000 28300 100000 283000 | -- -- -- -- -- -- -- 247 618 2470 6180 24700 61800 | -- -- -- -- -- -- -- 7.00 17.5 70.0 175 700 1750 |
图1,209E的洁净度级别(图略)图中的●标记表示评价洁净度级别用的对象粒子。
()内数值是用English unit表示级别。
图2,JIS B 9920的洁净度级别的上限浓度
表9,JIS B 9920主要内容
表10,美国航空宇宙局规格主要内容
| 动物静化间职位 | 塑料颗粒 | 微生物粒子束 |
地下室
各种压力
Pa
mmH2O
|
温度℃ |
温度 % |
环流
排风数次
|
光照度 Lx | ||
| 颗粒直径 um | 连续 水粒子数 个/ft (个/l) | 浮游量 个/ft (个/l) | 沉降量 | ||||||
|
|
≥0.5
|
100
(3.5)
|
0.1
(0.0035)
|
1200
(12900)
|
|
|
|
|
1080— 1620 |
如前所述,净化车间的级别一般分成M3.5(100)、M4.5(1000)、M5.5(10000)、M6.5(100000)4个级别。但根据各产业领域的作业工序不同,形成必要的级别是不一样的。例如,在半导体制造工厂等里边,根据作业内容,要求有M1(10)—M5.5(1000)的净化间。而且,在制药工厂里,根据产品的纯度、作业工序,需有从M3.5到M6.5(100,000)范围广泛的级别不等净化间。因此说,各种产业所需要的净化间,其要求的洁净度是不同的。
就一般级别而言,表11可以作为参考。
表11,各产业所要求的净化车间级别一览
| 各个领域和房产 | 干净干燥度规则(职别) | 玩法 | ||
| SI | English unit | |||
| 半导体器件化工 (IC、LSI等) | 掩建筑模板对着制作工艺 | M3.5 | 100 |
|
| 刻蚀艺 | M3.5 | 100 | 浸蚀加工生产 | |
| 发展工艺设备 | M3.5 | 100 | 高色度发展 | |
| 蒸着新工艺 | M3.5 | 100 | 高纯净度真空镀膜 | |
| 涂覆方法 | M3.5 | 100 | 光线传感器剂刷抹 | |
| 智能仪器 | 折算器造成 | M5.5 | 10,000 | 磁头 |
| 金属电极X射线管 | M5.5 | 10,000, | 遮屏 | |
| 磁带 | M5.5 | 10,000 | 以防吱吱声 | |
| 高精密检测设备 | 悠悠球、超小型的轴承 | M5.5 | 10,000 | 挺高高精度 |
| 防空导弹部分、继电热器 | M5.5 | 10,000 | 避免 误的动作 | |
| 手表、中型剂量测量仪器 | M5.5 | 10,000 | 组立、封装类型、清洗 | |
| 光学玻璃、油墨印刷 | 照象机、油墨印刷三极管板 | M5.5 | 10,000 | 加工制作 |
| 广角镜头、医用胶片 | M4.5 | 1,000 | 对接 | |
| 光学制版工艺 | M5.5 | 10,000 | 建设、查 | |
| 化学工业产品 | 针剂液充填 | M3.5 | 100 | 调配、充填 |
| 无菌室宠物养育 | M3.5 | 100 | SPF | |
| 有机化学医疗耗材 | 抗生态学 | M5.5 | 10,000 | 充填、常规检查 |
| 通常情况医药品 | M6.5 | 100,000 | 创造 | |
| 面制品 | 酿酒、发效 |
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